Canyon Materials, Inc. (CMI) 专注于制造用于灰度光刻的真灰度光掩模，这些光掩模可用于生产3D微结构。CMI提供的电子束写入HEBS玻璃光掩模和激光束写入LDW玻璃光掩模均为全玻璃光掩模，表面没有铬或任何其他涂层。客户设计的3D微结构通过使用具有2到1000灰度级的全玻璃灰度光掩模来制造，光掩模的灰度图案是通过电子束或激光束图案生成器写入的。
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