CCR技术是一家全球性的独立等离子体源生产商,专注于E-Gun和溅射辅助源,同时适用于PECVD和蚀刻应用,甚至可以满足大面积的需求。CCR的“COPRA-技术”商标下的DN、LS、RS和IS系列是RF供电的ICP等离子体束源,这些源具有气体独立性、可靠性和低维护性,非常适合工业生产。集成的匹配网络、定制化选项以及可扩展性使我们的产品组合更加完善。我们提供近50种不同的标准形状,包括法兰安装版本和自中和辅助源(适用于光学涂层机),确保COPRA能够满足您的需求。
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