Cymer是一家独立运营的公司,隶属于ASML集团,专注于开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。其产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体的氦氖激光器,这些激光器产生的光用于光刻扫描仪在硅晶圆上成像。Cymer的DUV光源的研究、开发和制造主要集中在美国圣地亚哥。
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