FQCW266-1000

FQCW266-1000是CryLaS GmbH推出的一款二极管泵浦固态激光器，工作波长为266 nm，输出功率可达1000 mW。该激光器具有±1 nm的波长稳定性，功率稳定性为0.2% RMS，光谱宽度小于300 kHz。其TEM00光束模式具有最高1.3的光束质量因子，点对点光束指向变化为±200 μrad。FQCW266-1000的光束直径为1.0±0.2 mm，光束发散角可达0.45 mrad，且为垂直偏振。该激光器的静态对准公差为±0.25 mm（横向）和±2.5 mrad（角度），纯度大于500:1，强度噪声低于1% RMS（1 Hz - 100 kHz）和0.2% RMS（100 kHz - 250 MHz），总寿命为16000小时。该激光器配备钥匙开关、安全锁和电气快门，支持USB / RS232 / Ethernet接口。预热时间可达45分钟，交流电源电压为90 - 250 V，功耗为200 W（典型值）和400 W（最大值）。该激光器的紧凑包装尺寸为143（高）x 325（宽）x 739（长）mm（激光头）和184（高）x 483（宽）x 411（长）mm（控制单元），非常适合光刻、晶圆检测、光谱分析和分析应用。