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SD512GR是Verity Instruments, Inc.推出的一款光谱仪,工作波长范围为900 nm至1700 nm。该设备集成了512元素的线性铟镓砷光电二极管阵列和阻挡滤光片。SD512GR可以通过SpectraView™软件进行控制,并配备了热电冷却器,非常适合用于端点检测、故障检测、工艺诊断、作为光谱反射仪的一部分,以及半导体工艺应用。
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