IXION 193 SLM

IXION 193 SLM是来自Xiton Photonics GmbH的一款固态Q开关激光器，工作波长为193.368 nm，输出功率为10 mW，脉冲能量为1.6 μJ。这款二极管泵浦激光器的脉冲持续时间为8 ns到12 ns，重复频率为1 kHz到15 kHz。其具有高斯TEM00光束轮廓，光束质量因子(M2)可达1.6，且相干长度大于2 m。该激光器的光谱带宽为0.01 pm，调谐范围为10 pm。IXION 193 SLM可通过图形用户界面进行控制，并支持LabVIEW软件。其需要的交流电压为85 V至264 V，功耗为650 W。该激光器符合CDRH标准，采用紧凑型包装，激光头尺寸为795 mm x 710 mm x 154 mm，电源和冷却器的尺寸为600 mm x 600 mm x 600 mm。非常适合用于光谱仪校准、光刻、干涉测量、193 nm计量及激光器注入种子等应用。