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E1715A是Keysight Technologies推出的一款三轴干涉仪,专为现代激光测量系统设计。该干涉仪基于Keysight先进的单片光学设计技术,具有高指向稳定性。它集成了带ST连接器的远程传感器,省去了单独安装远程传感器的需要。使用平面镜时,其光学分辨率为λ/4,输出效率为18%。该干涉仪产生的光束直径为4 mm,平行度角小于25μrad(轴1-2和轴1-3),并且相对于加工基准具有卓越的光束角精度。E1715A除了标准配置外,还提供三种可选版本 - 一种不含远程传感器,另一种包含输入弯曲镜,第三种则结合了这两种选项。它采用紧凑的不锈钢外壳,尺寸为68 x 55 x 44 mm,输出与400微米塑料或玻璃光纤相连,配有ST连接器,数值孔径为0.39。
这是一款用于测量应用的158.25 nm三轴干涉仪
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