10736A

10736A来自Keysight Technologies，是一款具有158.25 nm线性光学分辨率的三轴干涉仪。该系统可以同时进行三项测量：一项用于线性距离，另外两项用于角度值（偏航和俯仰或滚动）。这些测量路径本质上是对齐的，以确保卓越的系统精度。该干涉仪的线性分辨率为5 nm，俯仰为0.024 µrad，偏航为0.2 µrad。10736A的输出光束直径为3/6/9 mm，平行度可达40 µrad（轴1和2）和50 µrad（轴1和3）。该干涉仪的角度范围为±1 mrad（俯仰/滚动和偏航，适用于6 mm光束）和±1.5 mrad（偏航，适用于9 mm光束）。其平均热漂移系数为40 nm/°C（适用于轴1和2）和100 nm/°C（适用于轴3）。该干涉仪可在一个紧凑的模块中提供，尺寸为203.5 mm x 105 mm x 60 mm，特别适合三轴测量应用。