IMS5600-DS

IMS5600-DS是Micro-Epsilon推出的一款白光干涉仪，测量范围为2.1 mm，分辨率低于30 pm，具有可持续调节频率100 Hz至6 kHz。该干涉仪配备840 nm波长的NIR-SLED光源，以及635 nm波长的导引激光。其线性度可达±10 nm，测量角度为±2°。IMS5600-DS采用1级（导引）激光，光斑直径为10 µm。该产品拥有IP65（传感器）和IP40（控制器）保护，并可选配超高真空（UHV）。该干涉仪配备16位D/A转换器，可通过以太网、EtherCAT、RS422、PROFINET或EtherNet/IP接口进行控制，要求24 V直流电源电压，功耗为10 W。该干涉仪外壳为铝制，尺寸为Φ10 x 55 mm，非常适合工业距离测量应用。