Verifire

Verifire是Zygo Corporation推出的一款1.44百万像素的Fizeau干涉仪，具有1200 x 1200像素的相机分辨率。它的工作波长为633 nm，输出功率超过3 mW。该干涉仪可以产生直径为4英寸（102毫米）或6英寸（152毫米）的测试光束，光学中心线为4.25英寸（108毫米）。它的帧率为160 Hz，数字化为8位，采集时间为81毫秒至188毫秒，光瞳聚焦范围为±2.5米（适用于4英寸）和±5.5米（适用于6英寸）。该干涉仪具备1-5倍的光学变焦和±3度（适用于4英寸）及±2度（适用于6英寸）的视场角。它采用专利的QPSITM采集算法和功能齐全的MxTM计量软件，适用于反射光学、透明光学及成像系统应用。